多弧離子鍍膜機由鍍膜室、N個電弧靶、弧電源,真空獲得系統、旋轉工件架、管狀加熱器、氣路系統、水路系統、控制系統等組成。
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多弧離子鍍膜設備應用
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工具鍍:以高速鋼和硬質合金制成的切削刀具經鍍膜后可提高工具表面硬度和自潤滑性,大幅度提高工具壽命,模具鍍膜后也有提高壽命的效果。
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裝飾鍍:不銹鋼家具、展示架、不銹鋼工程制品、門鎖、拉手、工藝品、汽摩配改裝件、燈飾、高爾夫球頭等
多弧離子鍍膜設備參數
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艙體尺寸:1000×1200、1150×1200、1200×1300、1400×1300、1600×1300
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電源類型:直流電源、中頻電源、電弧電源、燈絲電源、活化電源、脈沖偏壓電源
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多弧靶:多弧靶5個或18個,1個或2個柱弧靶
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孿生靶:中頻孿生柱靶或平面靶1-4對
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艙體結構:立式前開門結構(雙層水套或水槽式冷卻)、后置抽氣系統
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真空系統:滑閥泵+羅茨泵+擴散泵+維持泵(可選裝:分子泵、深冷泵、深冷系統)
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加熱系統:常溫至350度可調可控(PID控溫),不銹鋼加熱管加熱
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氣路系統:1-4路MFC
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極限真空:6×10-4pa(空載)
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抽氣時間:空載大氣抽至5×10-3pa小于13分鐘
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保壓率:1h≤0.6pa
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旋轉方式:上旋轉或下旋轉+公自轉變頻無級可控可調,0-20轉/分
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控制方式:全自動、觸摸屏+PLC
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